中國臺灣日揚APC蝶閥使用淺析

中國臺灣日揚（Htc）自動壓力控制APC蝶閥，是整合真空腔體壓強反饋與馬達(dá)控制技術(shù)的真空閥門，可以快速調(diào)節(jié)真空腔體制程壓力，*隔絕真空側(cè)和大氣側(cè)，APC蝶閥具有外形尺寸小、使用壽命長、易維修等特點，搭配Htc的APC軟件，可以簡單快速地設(shè)定并監(jiān)控制程壓力。

APC蝶閥，廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、光電產(chǎn)業(yè)、太陽能產(chǎn)業(yè)、CVD制程等行業(yè)，安裝在真空泵組與真空制程腔室之間，通過真空計反饋的電壓值控制蝶閥密封板開度大小，從而達(dá)到調(diào)節(jié)腔室壓力的目的。

本次實際使用的蝶閥型號是ISO63BFVC/RS485，通過自帶的軟件，可以進行如下功能的設(shè)定：閥門位置、真空壓力、目標(biāo)壓力、JOG+、OPEN全開、CLOSE全閉、JOG-、HOLD（馬達(dá)鎖定，所有命令無效）等。

真空計的設(shè)定，重新設(shè)定壓力范圍（例如講0.1Torr改為1Torr）后，要關(guān)掉軟件，再重新打開軟件，更改設(shè)定才會有效。對應(yīng)真空計0-10V的設(shè)定壓力值，具有線性特性。

馬達(dá)的PID調(diào)節(jié)，將I=0.1，D=0，調(diào)整P參數(shù)有1增加到馬達(dá)有震動之后將該值除以2，則為P之設(shè)定值。

使用RS485接口時，兩次訊息之間必須間隔7個字節(jié)以上的時間。

整個過程，調(diào)試方便順利，控制精度高、反應(yīng)迅速，整個工況讓客戶非常滿意！

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作者：深圳市科銳詩汀科技有限公司銷售部

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