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瑞士inficon電容式膜片真空計(jì)的優(yōu)點(diǎn)與應(yīng)用
瑞士inficon電容式膜片真空計(jì)的優(yōu)點(diǎn)與應(yīng)用
更新時(shí)間：2016-09-26 點(diǎn)擊次數(shù)：1586
瑞士inficon電容式膜片真空計(jì)的優(yōu)點(diǎn)與應(yīng)用
擁有成本更低，預(yù)熱速度快 50%，節(jié)能，低功耗
易于集成，各種滿刻度、法蘭和接口，標(biāo)配兩個(gè)設(shè)定點(diǎn)
輕松一鍵調(diào)零或遠(yuǎn)程信號(hào)調(diào)零指令，可調(diào)零點(diǎn)偏移
診斷端口用于快速維修和維護(hù)
兩年保修服務(wù)，加熱概念和真空計(jì)保護(hù)延長(zhǎng)了使用壽命
的信號(hào)穩(wěn)定性和可重復(fù)性，即使是zui苛刻的等離子應(yīng)用，都無(wú)需長(zhǎng)期執(zhí)行重新校準(zhǔn)
合規(guī)性與標(biāo)準(zhǔn)： CE、EN、UL、SEMI、RoHS
典型應(yīng)用
用于刻蝕、CVD、PVD 和其他半導(dǎo)體制造過(guò)程
化學(xué)和腐蝕性高溫過(guò)程
需要真空計(jì)保護(hù)的一般薄膜和真空過(guò)程
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