MKS主要提供有： 氣體壓力及流量測量和控制, 射頻 /直流 /微波電源發(fā)生器及測量工具, 氟離子 /臭氧反應(yīng)氣體發(fā)生器, 真空產(chǎn)品, 氣體分析儀, 靜電控制及信息和控制技術(shù)等產(chǎn)品。

MKS質(zhì)量流量計特點：  
1）用于大流量應(yīng)用的從20SLM到200SLM的全量程
2）平衡力閥門設(shè)計將由于管路壓力的波動所導(dǎo)致的振動降到zui小
3）小于30分鐘的快速啟動時間將寶貴的生產(chǎn)停頓時間降到zui小
4）小于2秒的響應(yīng)時間可以快速達到所需要的設(shè)定值
5）可接受外部壓力信號的輸入（0-10VDC）來進行壓力控制
6）可提供用于大流量監(jiān)控的流量計（型號558MFM）
7）1年質(zhì)量保證確保了產(chǎn)品質(zhì)量和客戶的滿意度
8）符合歐洲CE認(rèn)證標(biāo)志