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適合單層或多層過程的先進(jìn)、實惠的速率控制儀 現(xiàn)在，只需一臺適合單層和多層過程的薄膜沉積控制儀便 能滿足您的全部需求。采用ModeLock技術(shù)的XTC/3 提供久經(jīng)考驗的防模式跳變功能，以確保始終如一的質(zhì) 量。選擇XTC/3薄膜沉積控制儀，您可以高度精確地控制 沉積速率和厚度，這款控制儀幾乎能夠處理任何層數(shù)， 安裝簡單，可靠性可為您確保生產(chǎn)率。 作為薄膜沉積控制儀領(lǐng)域的全球，INFICON現(xiàn)在 推出一款購置成本非常低，但卻能夠為您帶來價值的控制儀。 無論您的控制需求反映的是生產(chǎn)還是研發(fā)用途， INFICON XTC/3都能精確匹配您的需求。 遍布全球的INFICON支持網(wǎng)絡(luò) 無論您身在何處，您都將獲得快速解答、貼心服務(wù)和最 長正常運(yùn)行時間。INFICON在世界各地都設(shè)有辦事處， 是一家在全球范圍內(nèi)為客戶提供本地服務(wù)和技術(shù)支 持的薄膜沉積控制儀制造商。

特性一覽 • 提供單層和多層型號 • ModeLock技術(shù)可防止因模式跳變而出現(xiàn)薄膜厚度 錯誤 • 支持INFICON Crystal 12®、CrystalSix®和雙晶傳感器 自動晶片切換，以提高生產(chǎn)率 • XTC/3M多層型號支持多達(dá)99個過程、999層、32種 薄膜、2個傳感器和2個源 • XTC/3S單層型號支持多達(dá)9種薄膜、2個傳感器和2個源 • TFT液晶顯示屏提供易讀的圖形顯示 • 可為薄膜和過程分配描述性名稱以方便檢索 • 提供以太網(wǎng)連接 • 可通過獨立 (不需要計算機(jī)) 或可選Windows軟件實現(xiàn) 計算機(jī)操作 • 即插即用地替換INFICON XTC/2控制儀 (限于XTC/2的 功能和命令集)。