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皮拉尼壓電真空計

簡要描述:皮拉尼壓電真空計
PPG570新型INFICON皮拉尼壓電組合真空計(PPG570)基于*的MEMS(微機電系統(tǒng))傳感器技術,該技術也 用 于 我 們 的 PPG550“ATM 到 中 等 真 空 計 中 。PPG570與PPG550的區(qū)別在于額外安裝的ATM傳感器,該傳感器允許在經典的負載鎖應用中使用PPG570。

  • 產品型號:PPG570
  • 廠商性質:代理商
  • 更新時間:2025-03-14
  • 訪  問  量:735
  • 產品資料:查看pdf文檔

詳細介紹

品牌Inficon/英???/td>產地進口
加工定制

皮拉尼壓電真空計PPG570

新型INFICON皮拉尼壓電組真空計(PPG570)基于 的MEMS(微機統(tǒng)感器技,也 用 于 我 的 PPG550“ATM 到 中 等 真 空 中 。 PPG570與PPG550的區(qū)別在于外安裝的ATM感器, 該傳感器允典的負載鎖應用中使用PPG570。例 如,在半導線業(yè)或任何其他真空用中,相于大 環(huán)力的精確量都很重要。新型INFICON  PPG570可用于直接插入式替的MKSMKS901P“Micro皮拉尼™和壓電負載鎖真空器"。PPG570具有相同的接口/接口分配、模出和RS232/485數(shù)字通信協(xié)議。

優(yōu)勢:

•在2毫巴以上氣體類型獨立——允與任何氣體混合物安全通

•在大氣中具有高精度和可重復性——用于可靠、快速的大氣檢測

•大氣環(huán)•最多3個固定繼電•安裝方向多——在工具設計中提供工程自由度

•可選擇模型出信號,便于系統(tǒng)集成

•數(shù)字接口RS232/RS485

•能夠直接插入替MKS901P“Micro皮拉尼™和壓電負載鎖真空感器"

•合規(guī)標準:CE、EN、UL、CSA、RoHS

應用范圍

•半導線負載鎖應

•用于分析設備/質譜儀

•物理氣相沉

•爐內熱處

皮拉尼壓電真空計皮拉尼壓電真空計
































































































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