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TT系列 MKS質(zhì)量流量計

簡要描述:TT系列 MKS質(zhì)量流量計π系列金屬密封壓力不敏感數(shù)字質(zhì)量流量控制器

  • 產(chǎn)品型號:
  • 廠商性質(zhì):代理商
  • 更新時間:2025-03-14
  • 訪  問  量:1721
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TT系列 MKS質(zhì)量流量計
πMFC 是新一代壓力不敏感數(shù)字質(zhì)量流量控制器。實時高精度流量控制是基于數(shù)字算法技術(shù), 能有效地避免因壓力波動而造成的流量不穩(wěn)。 πMFC 廣泛地應(yīng)用于諸如半導(dǎo)體和薄膜生產(chǎn)工藝等高精度、 高純度氣體系統(tǒng)。 πMFC 集成壓力傳感器并顯示壓力等讀數(shù), 各種模擬和數(shù)字通訊口可選。
  • πMFC 壓力不敏感質(zhì)量流量控制器, 滿量程范圍從10 sccm – 50 slm。

  • πMFC 低壓質(zhì)量流量控制器, 滿量程范圍從2 – 50 sccm。






























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