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電容膜片真空計(jì)(1...1000乇/毫巴)

簡(jiǎn)要描述:INFICON SKY CDG160D 和 CDG200D 高溫壓力計(jì)是實(shí)現(xiàn)精確總壓測(cè)量與控制的理想之選。CDG160D 和 CDG200D 真空計(jì)溫度分別控制在160 °C 和 200 °C,適用于苛刻的半導(dǎo)體和等離子過程。在 1 Torr 至 1000 Torr 滿刻度范圍內(nèi)均可使用,帶有所有常用類型的法蘭和現(xiàn)場(chǎng)總線接口,能夠提供 0 至 10 V、不受氣體類型限制的對(duì)數(shù)壓力信號(hào)。

  • 產(chǎn)品型號(hào):CDG160D/CDG200D
  • 廠商性質(zhì):代理商
  • 更新時(shí)間:2025-03-04
  • 訪  問  量:2028
  • 產(chǎn)品資料:查看pdf文檔

詳細(xì)介紹

品牌Inficon/英???/td>產(chǎn)地進(jìn)口
加工定制

電容膜片真空計(jì)

Sky CDG160D, CDG200D 1 ... 1000 乇/毫巴


INFICON SKY CDG160D 和 CDG200D 高溫壓力計(jì)是實(shí)現(xiàn)精確總壓測(cè)量與控制的理想之選。CDG160D 和 CDG200D 真空計(jì)溫度分別控制在160 °C 和 200 °C,具有zhuoyue的性能,適用于苛刻的半導(dǎo)體和等離子過程。在 1 Torr 至 1000 Torr 滿刻度范圍內(nèi)均可使用,帶有所有常用類型的法蘭和現(xiàn)場(chǎng)總線接口,能夠提供 0 至 10 V、不受氣體類型限制的對(duì)數(shù)壓力信號(hào)。INFICON 電容式壓力計(jì)采用超純氧化鋁陶瓷隔膜,具有防腐蝕性。陶瓷傳感器具有信號(hào)穩(wěn)定性更佳、從大氣恢復(fù)的速度更快、預(yù)熱時(shí)間短和使用壽命長等諸多優(yōu)勢(shì)。INFICON CDG 壓力傳感器品質(zhì)zhuoyue,jiju成本效益,適用于苛刻的半導(dǎo)體、等離子和真空應(yīng)用。

好處

  • 更低的 CoO(擁有成本)、預(yù)熱速度提高 50%、節(jié)能低功耗

  • 易于集成,各種滿量程、法蘭和接口,標(biāo)配兩個(gè)設(shè)定點(diǎn)

  • 簡(jiǎn)單的一個(gè)按鈕或遠(yuǎn)程信號(hào)歸零命令,零點(diǎn)偏移可調(diào)

  • 用于快速維修和維護(hù)的診斷端口

  • 兩年保修,通過加熱概念和儀表保護(hù)延長使用壽命

  • 由于具有出色的信號(hào)穩(wěn)定性和可重復(fù)性,因此無需長期重新校準(zhǔn),即使在惡劣的等離子體應(yīng)用中也是如此

  • 合規(guī)性和標(biāo)準(zhǔn):CE,EN,UL,SEMI,RoHS

典型應(yīng)用

  • 蝕刻、CVD、PVD等半導(dǎo)體生產(chǎn)工藝

  • 化學(xué)和腐蝕性高溫工藝

  • 需要壓力表保護(hù)的一般薄膜和真空工藝






















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