CDG045Dhs高速電容膜片真空計  的詳細(xì)介紹

INFICON Stripe 高速電容式隔膜真空計目前是快速、高度準(zhǔn)確的真空測量儀器。響應(yīng)時間不到 2 ms，配備 EtherCAT 現(xiàn)場總線接口，開拓了全新的應(yīng)用領(lǐng)域。成熟的控溫、防腐蝕、超純陶瓷傳感器能長期提供出眾的量程穩(wěn)定性，而且具有wuyulunbi的零位穩(wěn)定性。Stripe 隨附 INFICON 已獲zhuanli的dute傳感器屏蔽，用于保護真空計，使其免受不需要的過程副產(chǎn)品的影響。INFICON Stripe 使用創(chuàng)新的加熱概念，提供冰涼的接觸表面和dute的速度性能， 可實現(xiàn)提升shiwuqianli的生產(chǎn)力， 使其成為同類產(chǎn)品中zyuixianjin的真空儀器.

益處

• 高生產(chǎn)力 - 反應(yīng)時間快于 1 毫秒

• 靈活集成 - EtherCAT 現(xiàn)場總線

• 使用壽命長 - 經(jīng)驗證的陶瓷傳感器

• 忘記重新校準(zhǔn) - 90ppm/年*穩(wěn)定性

典型應(yīng)用

• 原子層沉積

• 高速過程控制

• PVD、CVD、刻蝕

• 一般高溫真空應(yīng)用